執行計畫

低溫電性量測系統

計畫名稱：

1. 運用掃描式探針顯微鏡研製與分析矽奈米電子元件 主持人 92/8~95/7

2. 應用於生物分子撿測與奈米元件之奈米技術平台 主持人 (奈米國家型科技計畫) 93/8~96/7

計畫內容

Dip Pen

奈米元件實驗室主要以掃瞄式探針微微影與半導體製程技術研製矽 (鍺)奈米線 (Silicon/Germanium Nanowires) 與奈米點 (Nanodots) 等奈米結構，並在這基礎上研究奈米電子元件、單電子電晶體、庫倫阻障元件、超高密度儲存元件、電子自旋元件、奈米生化感測元件等特行。在奈米時代的今日習得奈米元件研製技術與理論是未來升學或就業重要智能之一。本實驗室目前擁有儀器與設備包括： Dip-pen 奈米微影系統、變溫式掃瞄式探針顯微鏡、低溫電性量測系統、濕式蝕刻系統等等。主要研究人力: 博士生 六人 、碩士班 十人。